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頂部
光柵尺為透射式幅值光柵,其原理為主,副光柵相對位移時,產生莫耳條紋變化,此變化將由精密光電轉換器件,轉換為電訊號,然后經訊號處理電路處理后,輸出相應位移量的數字訊號。萬濠光柵尺(光學尺)
白金第9年
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