光催化氧化反應過程中起著決定性作用。而且由于它們的氧化能力強，氧化反應一般不會停留在中間步驟，因而一般不會產生中間副產物。

氣液擴散階段：惡臭物質被除有機廢氣填料（附著有微生物膜）吸附—臭氣中的化學物質，通過填料氣/液界面由氣相轉移到液相；

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能耗低：設備啟動，僅需15～30分鐘升溫至起燃溫度，耗能僅為風機功率，濃度較低時自動補償。

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