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详 细 说 明 | |||||||||||||||||||||||
概述 多功能数字式方块电阻测试仪是运用方形四探针Keywell测量原理的多用途综合测量装置,它与直线四探针相比,消除了探针游离对测试结果的不利影响,大大提高X度,并提高微区测试能力, 它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率,扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻(简称方阻),换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。 本测试仪特赠设测试结果分类功能,X大分类10类 仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;自动转换量程;测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长;测试结果由数字表头直接显示。 三、基本技术参数 1.测量范围、分辨率 电 阻: 1.0×10-3~ 200.0×103Ω, 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103Ω 电 阻 率: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω-cm 分辨率0.1×10-3~ 0.1×103Ω-cm 方块电阻: 1.0×10-3~ 20.0×103Ω/□ 分辨率1.0×10-3~ 0.1×103Ω/□ 2.可测半导体材料尺寸 直 径: 测试台直接测试方式 Φ15~130mm,其他方式不限. 长(或高)度: 测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限. 3.量程划分及误差等X
4)工作电源:220V±10%, f=50Hz±4%,PW≤5W 5)外形尺寸:W×H×L=11cm×4cm×16cm 净 重:≤1kg |