
偏压电源
在真空离子镀膜中,
尤其对于多弧离子镀膜,
无论是装饰镀还是工具镀,轰偏电源
的好坏对于成膜质量都起着非常关键的作用。装饰镀和工具镀对膜层质量的要求有相
同之处又各有侧重。
装饰镀要较好的结合力。好的光洁度,膜层致密性,X性。工件表面不允许有任何一点放电缺陷存在
工具镀要求极好的结合力。好的膜层致密性,结晶完整性。工件表面尽量避免放电缺陷存在。这些对膜层的要求决定了我们对设备硬件的要求和工艺参数的选定。
只有良好的件设备性能才能满足各项工艺参数的要求。轰偏电源对离子镀膜质量有以下影响。
我们希望膜层与基体的结合力越牢固越好,
但通常膜层与基体不具有相容性,并不能自然结合。因此,我们要在膜层与基体之间生成一层与二者均相容的过渡金属层,以便于膜层与基体结合。通过镀膜设备上的轰偏电源,我们可在工件上加上高的偏压,
使金属离子以较大的能量轰击工件表面,在工件表面形成一个过渡金属渗入工件表面
的混合金属渗入层,这个过程称为主弧轰击。主弧轰击对于工具镀和装饰镀都很重要,
但对工具镀更重要。因为工具镀要求工具经镀膜加工后能提高使用寿命,提高加工效
率,减少刀具磨损量,提高刀具适应不同加工条件的能力。因此,膜层在使用中X先
是决不能脱落。所以,工具镀要求主弧轰击的电压要尽可能高,X低也要达到有负载
时1000V。膜层的光洁度,膜层致密性,X性,结晶完整性:
膜层的这几个性能其实都是关于膜层的结晶完整性的,在我们选定了一种涂层后,
要使膜层充分按照其自身的晶体状态沿工件表面成长,并不断消除成长中的缺陷,X
终形成完整的结晶态,才能产生我们所需要的性能。而一个结晶充分完整的膜层也是
光亮而致密的,无孔隙而具有防腐性的。但在实际镀膜过程中,结晶过程中会伴随着
缺陷的产生,因此,我们在镀膜过程中给工件加一个适当的偏压镀膜时的偏压在一定范围内X佳。工件表面放电:在多弧离子镀中工件上有负偏压后,