
在TFT-LCD生产过程中,清洗的主要目的是去除玻璃基板表面残留的particles[1]。生产过程中的particles种类很多,常见的主要有玻璃碎片、灰尘、微小有机物、人体毛发或纤维等。如果不能X地去除玻璃基板表面残留的particles,就会产生如金属层之间短路、金属层大面积脱落或者残留等各种不良现象,从而X终影响产品的各种电学性能,产生亮点、暗点、亮线等各种工艺缺陷。目前TFT-LCD制程的清洗工艺经常采用的清洗方法有X紫外、毛刷滚刷清洗、泡沫喷射清洗以及纯净水喷射冲洗等[2-7]。其中毛刷对于粒径大于3μm的particles的清洗效果很好。毛刷通过紧贴玻璃基板表面高速旋转,可以X去除粘附或者沉积在金属和非金属膜层的大颗粒particles。本文通过改变毛刷的旋转方向,以particles去除率为依据,探讨了毛刷旋转方向对清洗效果的影响。并分析了particle removal efficiency图1毛刷的不同旋转方法毛刷的旋转速度,以及毛刷的压入量对于清洗效果的综合影响LCD毛刷主要用于清洗FPD面板及玻璃上的污染物,按照形状及用途不同可分为盘刷、辊刷(滚刷)、扭刷、静电刷等各种毛刷供您选择。 辊刷按照生产工艺不同又分为PUNCH型辊刷、CHANNEL型辊刷及BELT型辊刷(带刷)。LCD清洗毛刷规格齐全,型号多样,可根据图纸定制生产。如有需求,欢迎来电洽询,我们将竭诚为您服务。