仪器参数测量范围 1nm-300nm 测量X小值 ≤1nm 入射角 30°- 90° 误差≤0.1° 偏振器方位角读数范围 0°- 180° 度盘刻度 每格2度 游标X小读数 0.05° 光学中心高度 152 工作台直径 φ70 外形尺寸 730*230*290 主机重量 20kg